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方案概述

半導體制造領(lǐng)域涉及的廢氣種類繁多，核心涵蓋普通氣體排放、含毒性成分廢氣、有機揮發(fā)性化合物（VOCs）以及酸堿性廢氣。該行業(yè)廣泛運用特種氣體、強酸強堿等化學品及大量有機溶劑與揮發(fā)性介質(zhì)，這些物質(zhì)在加工過程中不可避免地生成上述廢氣。同時，化學品存儲區(qū)（如固廢倉庫）及特定作業(yè)環(huán)境亦成為廢氣污染的關(guān)鍵源。鑒于半導體行業(yè)的獨特性，天得一公司提供全面的污染物在線監(jiān)控體系方案，確保精準、高效地監(jiān)測并管理各類廢氣排放。

方案內(nèi)容

  • 1、粉塵廢氣監(jiān)測：針對半導體制造全鏈條中產(chǎn)生的粉塵廢氣，我們部署了基于激光散射技術(shù)的先進在線監(jiān)測儀，實現(xiàn)精準、實時地粉塵濃度監(jiān)測，確保生產(chǎn)環(huán)境潔凈度。
  • 2、鍋爐廢氣監(jiān)控：針對廠區(qū)蒸汽與燃氣鍋爐排放的氮氧化物等關(guān)鍵污染物，采用高性能CEMS（煙氣排放連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)），確保對鍋爐廢氣排放的全面、準確監(jiān)控。
  • 3、有機廢氣治理：針對半導體制造過程中釋放的非甲烷總烴、總VOCs及苯系物等有機廢氣，我們配置專業(yè)的非甲烷總烴在線監(jiān)測系統(tǒng)，精確捕捉并監(jiān)測有害氣體。
  • 4、酸堿廢氣監(jiān)測：鑒于氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物及氯氣等酸堿廢氣的特殊性與潛在危害，選用基于電化學原理的酸堿在線監(jiān)測儀，實現(xiàn)精確測量與及時預警。
  • 5、信息化平臺整合：所有監(jiān)測系統(tǒng)的數(shù)據(jù)均通過統(tǒng)一采集平臺匯總至企業(yè)信息化管理系統(tǒng)，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的可視化管理與分析，為企業(yè)決策提供科學依據(jù)。
    • 立即咨詢

方案特點

  • 防爆設(shè)計

    安全可靠

  • 安全性高

    斷電自啟

  • 運行穩(wěn)定

    自動校準功能

  • 在線監(jiān)測

    數(shù)據(jù)精準

  • 維護成本低

    氣相色譜法，壽命長

核心產(chǎn)品